摘要：我們使用近似的
物理光學(xué)模
模擬了半徑的測量。使用簡單的幾何
光線模型替換復(fù)雜的物理光學(xué)模型，可以確定在測量中的偏差。
?AlTQL~c G?e\w+}Pj@ 1. 簡介 bkSI1m3 FG{45/0We 半徑干涉測量通常通過簡單的幾何模型來模擬，即，來自物鏡（或標(biāo)準(zhǔn)
透鏡）的光線形成錐形并且聚焦到一點[1]。當(dāng)測試光學(xué)器件變小和/或需要更高的精度時，這個簡單的幾何模型就會產(chǎn)生問題并得到錯誤的半徑測量值。需要完整的物理光學(xué)模型來捕獲
系統(tǒng)的衍射效應(yīng)和像差。
1=^edQ+ }|-Yd"$ 半徑干涉測量的原理圖如圖1所示。菲索或泰曼格林干涉儀都可用于半徑測量。在菲索干涉儀中，標(biāo)準(zhǔn)透鏡用作聚焦元件、分束和參考表面。在泰曼格林干涉儀中，使用分束器將光分成參考反射鏡和物鏡，它可以將光束聚焦到測試部件。
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