[求助]鍍AR出現(xiàn)的問題，大神們求指點(diǎn)。 [復(fù)制鏈接]

lzh123:均勻性的問題。。。。。影響均勻性的素較多 (2017-07-08 18:04)  1{l18B`  

fly6947:我建議你做一下圖一的重復(fù)性，如果每爐差，但是情況不一樣，那么是你的敏感層是H4，要么膜系結(jié)構(gòu)優(yōu)化一下，（圖2是單峰結(jié)構(gòu)，敏感度沒那么高）要么控制H4的預(yù)熔與充氧量；
如果每爐都這樣，那肯定是均勻性沒做好，有條件的話  高低折射率的mask單獨(dú)修一下；
....... (2017-06-29 08:46)  h(}$-'