[求助]新鍍膜機(jī)如何調(diào)試 [復(fù)制鏈接]

一臺(tái)新的鍍膜機(jī)，在不知道折射率，沒有補(bǔ)正板，不知道均勻性等的情況下，應(yīng)該如何進(jìn)行調(diào)試��？步驟我知道，但是就是不知道具體該如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三鈦為例，在沒有具體的折射率情況下，用多大的折射率去做單層，單層的厚度設(shè)計(jì)多少，做出來后怎樣進(jìn)行修正計(jì)算實(shí)際的折射率，具體的教程誰有��？另外知道折射率了，在做均勻性時(shí)，修正板要如何修剪？ p-[WpY3  
求指點(diǎn)。 ukWn@q*  

補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:345 補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:345 cr1x CPJj  
先看一下附件，新柯隆的補(bǔ)正板做成資料。 @]=40Yj~w  
寫的比較詳細(xì)了。

另外，要做單層時(shí)，先確認(rèn)一下你的分光儀測量范圍和手頭的光學(xué)軟件是否可以用，里面有多少材料庫，不夠的話去查一下自己做材料。（推薦麥克勞德，當(dāng)然TFC也可以） 4-(kk0]`z  
一般單層厚度在測量范圍內(nèi)3～5個(gè)PEAK（用光學(xué)軟件模擬一下就可以知道）。 
P6:C/B  
SiO2一般折射率變化不會(huì)太大，所以直接用光學(xué)軟件的折射率也可以。 >Fel) a  
（還有就是有些分光儀分辨率不高，做出來的SiO2曲線毛刺很多，反倒不如軟件里的折射率準(zhǔn)確） (j: ptQ2$  
做的話多用幾個(gè)坩堝，一個(gè)坩堝做很厚的膜層不好（打坑深了分布變了修正板就不準(zhǔn)了）

1.設(shè)定初參數(shù)：溫度、真空、充氧、離子源、速率，這個(gè)可以參考或詢問； mDB  
0I&k_7_  
2.鍍單層膜  基板選擇圓平片，一班鍍3-5個(gè)極值； {MUB4-@?F$  
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3.修均勻性和計(jì)算折射率同步進(jìn)行；高低材料均勻性交替修 0'QWa{dS\  
wVf~FssN  
4.修好均勻性后根據(jù)折射率計(jì)算tooling； UtZ,q!sg  
zZ5:)YiW-  
5.驗(yàn)證膜層的光學(xué)及非光學(xué)性能；有異常者重新修改參數(shù)并重復(fù)2-4過程

fly6947:1.設(shè)定初參數(shù)：溫度、真空、充氧、離子源、速率，這個(gè)可以參考或詢問；
2.鍍單層膜  基板選擇圓平片，一班鍍3-5個(gè)極值；
3.修均勻性和計(jì)算折射率同步進(jìn)行；高低材料均勻性交替修 K|& f5w  
....... (2017-09-13 11:28)  Mf}M/Fh  

:Mf"  
謝謝。不過說的流程我大概知道，就是不會(huì)具體的操作，比如我設(shè)計(jì)了單層，也鍍了；出來特性也測了，如何計(jì)算折射率？

折射率和吸收兩個(gè)要一起用軟件算的。 S63Zk0(25  
你先說說手頭有什么軟件？ ^5mc$~1`  
每種軟件的使用方法不一樣。 8;PkuJR_]  
如果你只要結(jié)果的話，直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來，有空幫你算。 ,Q`qnn&  
Bq0 \T 0,  
UZZJtQt  

樓上大神說得對(duì)，

ouyuu:折射率和吸收兩個(gè)要一起用軟件算的。 8f@}-  
你先說說手頭有什么軟件？ ldv@C6+J  
每種軟件的使用方法不一樣。 =C %)(|  
如果你只要結(jié)果的話，直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來，有空幫你算。
....... (2017-09-14 22:19)  1HJ: ?]  

oOFTQB_6  
麥克勞德、TFC都有

光學(xué)薄膜講習(xí)資料（王編譯）.rar (813 K) 下载次数:225 8P