[討論]關(guān)於 EB 製程(不使用IAD) [復(fù)制鏈接]

各位前輩 先進(jìn) 大家好 NZC<m$')  
關(guān)於EB製程(不使用IAD)部分 853]CK<  
在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點該如何避免產(chǎn)生 WV9[DFU  
可以控制的參數(shù)很少 N^nDWK  
頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???

麻點有很多因素。 see'!CjVo2  
改善抽氣和放氣（延長緩粗抽和緩放棄的時間），可以減少氣流帶到鏡片的粉塵數(shù)量。 4cv|ok8P  
改善預(yù)熔藥的溶藥制程（甚至溶藥后再放置鏡片），可以減少粉塵源。 z^SN#v$  
電子槍如果有二次電子（電子槍轟擊藥物后反射的電子）抑制器，可以減少鏡片的靜電，減少粉塵沾染。 DU*Hnii  
另外，腔室的清潔很重要，如果每次都換鋁膜，那也能改善很多。

主要還是查看一下膜料吧！另外就是腔體里出現(xiàn)掉膜的部位需要及時清理，還要防止膜料的互相影響。