[求助]在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固 [復(fù)制鏈接]

工藝條件再說(shuō)詳細(xì)一點(diǎn)，第一層是什么膜料，蒸鍍過(guò)程是否離子源一直輔助，脫膜現(xiàn)象是否有傘架位置之分等等

大家一起研究一下

基片加硬的問(wèn)題，剛剛遇到過(guò)的，亞克力的鍍完膜層不牢，后來(lái)，退客戶(hù)端他們加硬后就OK了。至于怎么加硬就不太清楚了。

PMMA本身鍍?cè)鐾妇陀悬c(diǎn)自相矛盾的，基板與膜料結(jié)合不好，要增加結(jié)合效果就要表面增加粗糙度，增加粗糙度就會(huì)對(duì)產(chǎn)品透過(guò)有影響。之前有想買(mǎi)臺(tái)灣的一種設(shè)備來(lái)增加表面粗糙度，后面也是不了了之。PMMA在鍍膜這塊確實(shí)不好解決，膜裂可以搞，但是脫膜不好搞，脫膜搞好，增透就不好搞，而且鍍膜后產(chǎn)品儲(chǔ)存要求較為苛刻。要想解決脫膜就表面霧化，霧化程度自行實(shí)驗(yàn)吧——霧化程度不影響預(yù)期增透效果。希望樓主解決后分享一下

基片加硬才行，剛試過(guò)了，總是脫膜，加硬后沒(méi)有問(wèn)題

SiO打底200nm，石英環(huán)/Ti3O5，4層，離子輔助沉積 & O\!!1%  
冷鍍不加溫，抽一個(gè)半小時(shí) AbI*/|sY  
基片超聲波清洗，洗后75°退火2小時(shí) 54cgX)E[x  
鍍完再退火2小時(shí)

dumoty:SiO打底200nm，石英環(huán)/Ti3O5，4層，離子輔助沉積 ,.MG&O  
冷鍍不加溫，抽一個(gè)半小時(shí) D|3QLG  
基片超聲波清洗，洗后75°退火2小時(shí) 8Kkr1}!wd  
鍍完再退火2小時(shí) (2018-08-09 11:11)  3edK$B51;  

vJ}  
好繁瑣的過(guò)程

換種新膜料,一步搞定膜裂!當(dāng)然還得退火處理!幾種塑料PC PMMA 還有E48R 退火條件有區(qū)別!

謝謝分享

看看是什么原因