[求助]在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜，膜層不牢固 [復(fù)制鏈接]

在PMMA基底上鍍AR膜系，905nm增透。 3\{\ al   
基片經(jīng)超聲波中性洗劑清洗后，放在恒溫箱中75℃，退火2h；在光馳機(jī)器中不加熱，開(kāi)離子源，真空抽至2E-3開(kāi)始鍍（Ta2O5/石英環(huán)）。 V?mk*CU  
出鍋后，基片上的膜層就出現(xiàn)明顯裂痕。 #p]V?  
基片翻面放進(jìn)機(jī)器，降低鍍石英環(huán)的離子轟擊能量，并在出鍋后，直接放入恒溫箱中75℃退火2h。結(jié)果是基片沒(méi)有裂痕，但膜層一擦就掉。