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    [求助]在PMMA基底上冷鍍膜出現(xiàn)裂膜,膜層不牢固 [復(fù)制鏈接]

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    只看該作者 30樓 發(fā)表于: 2018-09-06
    怎么解決呢?
    離線zqfid536
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    只看該作者 31樓 發(fā)表于: 2018-09-16
    工藝很重要
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    只看該作者 32樓 發(fā)表于: 2018-10-11
    才看到樓主的帖子,(雖然樓主這個帖子時間很久了) Z -,J)gW  
    樓主,我最近接觸這個材料的鍍膜,也是PMMA(700nm增透),鍍膜的話容易膜裂(主要是高溫會導(dǎo)致膜裂>80C°) (Lo%9HZ1Mx  
    是不是可以降低恒溫箱的退火溫度來試試
    離線knight627
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    只看該作者 33樓 發(fā)表于: 2018-10-12
    回 小小!怆 的帖子
    小小牛—光電:才看到樓主的帖子,(雖然樓主這個帖子時間很久了) AgOp.~*Z~V  
    樓主,我最近接觸這個材料的鍍膜,也是PMMA(700nm增透),鍍膜的話容易膜裂(主要是高溫會導(dǎo)致膜裂>80C°) I#m-g-J  
    是不是可以降低恒溫箱的退火溫度來試試 (2018-10-11 15:58)  xfy1pS.[:  
    fLDg~;3  
    第一層加50-100A  SIO打底,或者直接換膜料,都可以解決膜裂問題
    離線光跡
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    只看該作者 34樓 發(fā)表于: 2019-11-26
    在你現(xiàn)有的工藝基礎(chǔ)上,打底一層薄的SIO
    離線op1163
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    只看該作者 35樓 發(fā)表于: 2019-11-27
    提高一下,加工工藝條件。
    離線dumoty
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    只看該作者 36樓 發(fā)表于: 2019-12-05
    問題已解決,方案在25樓
    離線morningtech
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    只看該作者 37樓 發(fā)表于: 2019-12-08
    樓主做事有始有終,必須贊一個。
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    只看該作者 38樓 發(fā)表于: 2020-06-20
    正在做冷度ar,離子源輔助(O2),鍍sio2的時候不開離子源比開離子源膜強度要高,但依舊達(dá)不到要求,膜層易脫落,用指甲就螚把膜層刮下來,暫未解決
    離線sosjinyan
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    只看該作者 39樓 發(fā)表于: 2020-06-29
    回 knight627 的帖子
    knight627:第一層加50-100A  SIO打底,或者直接換膜料,都可以解決膜裂問題 (2018-10-12 14:34)  kax\h  
    J^m<*  
    SIO 這個試過幾次  鍍10nm,效果沒有改善。  可能是SIO 這個料不太好用, 光斑用的60 60,電流100mA   沒有融料痕跡。   這個料需求預(yù)融嗎?具體怎么使用  ?多謝賜教!